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洁净室的测试及验收标准

更新时间:2014-12-12      点击次数:7322

 

洁净室的测试及验收标准

控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

洁净度级别表示实例

ISO 4级;静态;给定粒径0.5微米(352粒子/m3)。

ISO 5级;静态;给定粒径0.5微米(3520粒子/m3);5.0微米(29粒子/m3)。

因此,在测试具体的洁净室的相应洁净度级别时,不需要检测如上表所示的该级别的所有粒子粒径。而只要检测为该种洁净室给定的粒子粒径。

测定洁净度级别的方法

在检测洁净室的洁净度级别时,应测定洁净室内1点或数点的悬浮粒子浓度(即取样点的粒子浓度)。

因此必须满足下列要求

1)确认洁净室的状态与给定的相符;

2)确定给定粒径,洁净室取样点的数量和位置;

3)确定每一取样点的取样数量;

4)确定对每一种给定粒径在每1取样点上,每1次取样的取样量和取样时间;

5)取样之后应对每一种给定粒径的粒子进行相应统计;

6)将取样数据填入按各种给定粒径统计的粒子统计记录表内(适于采用无计算机App的粒子计数器的场合下);

7)整理取得的数据;

8)对结果进行分析;

9)整理方案确定级别应符合上表要求。

气流的检测

在洁净室中的气流:

气流风速(通常是控制单向气流的风速)

气流均匀性(单向气流风速稳定性)并目视检查气流。

空气(单向气流)的风速和风量

空气单向气流的风速是在垂直于气流方向的平面上并距离风源150-500mm处测得的。

测试点的数量应大于被测表面面积的平方根,但不得小于3,应在每一个设定的网格中进行测量,测量点应均匀地分布在平面上。

应在距离过滤器表面150mm处测试过滤器出口处的风速。在评价气流的均匀性时,应在距离过滤器表面300mm以上处测试风速。

1点的测量时间不得少于10秒。并且要确定平均值,zui大和zui小值。

气流的均匀性

根据在垂直于空气运动方向的平面上各点的风速测试数据,评价单向气流的均匀性,建议该平面应距离过滤器表面(风口)300毫米以上。

平面上各点处的风速相差不得超过20%-30%

检验过滤器的整体性

zui终过滤器(HEPAULPA过滤器)是洁净室的重要部分。这些过滤器安设在洁净室的吊顶和墙上,装在设备和风管内。应进行泄漏检查,以控制过滤器的整体性,过滤器的渗漏意味着粒子的渗漏,会超过ГOCTP5125-99

制造商应在厂内对过滤器作zui大穿透粒径试验,附过滤器检测报告,现场不做检漏。

温度的检测

在洁净室内采用两种方法控制温度:

n      一般控制

n      特殊控制

(一般控制)在通风空调系统投产-调试时,以及在洁净室检测的各个阶段和使用阶段均要进行温度的一般控制。

规定工作席工作区高度处的温度,以及必要时,其他工作点的温度都要加以控制。

1小时或更多一些的时间内应周期性的连续测试6分钟。

相对湿度的控制

待通风空调系统工作稳定后,相对湿度的控制可与温度的测量同时进行。

至少在每一处对相对湿度有要求的区域内设1个点进行相对湿度的测量,为了使传感器持续稳定,测量的持续时间不得少于6分钟

 

 

洁净室的测试及验收标准

控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

洁净室的测试及验收标准

控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

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在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

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洁净度级别

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空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

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在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

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洁净度级别

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空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

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在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

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洁净度级别

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2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

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在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

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洁净度级别

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在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

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在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

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2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

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在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

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洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

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在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

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洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

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在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

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洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

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在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

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2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

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6、空气温度和湿度

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洁净度级别

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在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

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8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

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洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

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8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

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在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

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控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

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洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

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